SEM5200 กับปัญหา Over Current ที่ยาวนาน ต่อเนื่อง ตอนที่2

                  จากตอนที่ 1 เป็นการแก้ไขปัญหา Over Current โดยการ Clean Wehnelt cap  และ Anode แต่ผลปรากฏว่ายังไม่สามารถแก้ไขปัญหาได้  ทำเอาเสียเวลาไปครึ่งวัน แต่ก็ได้รู้ว่ายังไม่ใช่สาเหตุของปัญหาในครั้งนี้ ซึ่งจากตอนที่ 1 ได้กลับไปนอนคิดมา ก็คงต้องกลับมาดูในส่วนของระบบ Vacuum ซึ่งช่างทางบริษัทใช้วิธีการตรวจสอบ Vacuum

             โดยการวัดแรงดันไฟที่อ่านได้จาก Vacuum Gauge ซึ่งช่างทางบริษัทวัดด้วยดิจิตอลมัลติมิเตอร์บริเวณบอร์ดด้านซ้ายของจอ CRT ซึ่งวัดได้ 2.542 Vdc

             โดยปกติทั่วไป ๆ ช่างเค้าบอกว่า แรงดันจะต้องอยู่ประมาณ 2.6 Vdc จริง ๆ แล้ว ทางศูนย์เครื่องมือฯ เราก็ไม่เคยทราบมาก่อน ซึ่งเรื่องนี้เป็นความรู้ใหม่ที่ควรจดจำครับ ในสมัยก่อนที่เครื่องใหม่ ๆ น่ะ แรงดันมันอยู่ที่ประมาณเท่าไหร่? ก็ไม่สามารถรู้ได้ เนื่องจาก Service Manual ก็ไม่มีให้ดู รู้แต่เพียงว่า สถานะที่หน้าจอ LCD แจ้งว่า

“Vacuum**************************   100%   HT Ready” ก็แสดงว่า Vacuum ได้แล้ว แต่ที่จริงแล้ว สถานะตรงนี้มันสามารถปรับตั้งได้  โดยท่าน Service Man และท่าน iHumได้เรียนรู้กันไปแล้ว โดยบันทึกนี้ครับ

             ระบบ Vacuum ของเครื่อง SEM5200 มีปั้มอยู่ 2 ตัวด้วยกัน คือ

1. Rotary Pump (RP Pump)
2. Diffusion Pump (DP Pump)

              ความสัมพันธ์ของปั้มสองตัวนี้คือ ช่วงแรกจะเป็นหน้าที่ของ Rotary Pump โดยจะปั้มไปจนได้ 25% แล้วจากนั้นวาล์ว V4 ก็จะสลับมาที่ Diffusion Pump แล้วก็ปั้มจนได้ 100% ตามคู่มือ กระบวนการปั้มตั้งแต่ 0-100% จะต้องใช้เวลาประมาณ 4 นาที ถึงจะเรียกว่าระบบ Vacuum ปกติ แต่ทั้งนี้ทั้งนั้น ก็สมารถปรับตั้งได้อีกนั้นแหละ

         ส่วนกรณีปัญหา Over Current ก็เป็นไปได้ว่าเกิดจากระบบ Vacuum ที่ไม่ดี ซึ่งถ้าตามที่วิศวกรบริษัทบอกว่าต้องวัดแรงดันได้ประมาณ 2.6 Vdc ถ้าเป็นแบบนั้นก็อาจจะไม่ดีจริง ๆ  แต่จะเกิดมาจากส่วนใดล่ะ  เรามาเริ่มพิจารณากันแต่ละส่วนเลยแล้วกัน

1. Diffusion Pump ก็ได้ตรวจสอบ Heater  โดยทางท่าน iHum ก็ได้ซ่อมไปแล้ว และระบบน้ำ Cooling ที่บอกว่าอุณหภูมิไม่ตรงกับความเป็นจริง ผมก็ได้ซ่อมแซมให้เป็นปกติแล้วครับ  แถมเมื่อไม่นานมานี้ ท่าน iHum ได้ทำการ Clean Diffusion Pump พร้อมเปลี่ยนถ่ายน้ำมันใหม่ไปแล้วด้วย
2. Rotary Pump ดูจากระดับน้ำมัน และสีน้ำมันก็ปกติดี แถมช่วงแรกของการปั้มจนถึง 25% ก็ปกติดี
3. โอริง ซึ่งก็ตรวจสอบ สภาพของโอริง และGrease ที่โอริง ตามจุดต่อ ประตูช่องใส่ตัวอย่าง ฝาเปิดใส่ Wehnelt ในชุด Electron gun และอื่น ๆ ก็ปกติดี   คลิกอ่านเพิ่มเติมความรู้จากท่าน iHum
4. ระบบวาล์ว เปิด-ปิด สลับการทำงานของ Vacuum Pump ซึ่งยังไม่เคยมีใครทำมาก่อน ตั้งแต่เครื่องมาติดตั้ง 15 ปี ขึ้นแล้ว ส่วนนี้อาจจะเป็นสาเหตุของการ Leak ก็เป็นได้

            จากการพิจารณามา 4 ข้อ คิดว่าควรจะดำเนินการแก้ไขในข้อที่ 4 เนื่องจากไม่เคยทำการ Clean นานมากแล้ว อาจจะมีคราบสกปรกไปติดอยู่ แล้วทำให้วาล์วปิดไม่สนิท ก็เป็นได้ แล้วยังมีส่วนที่เสริมกับสมมุติฐานนี้ ก็คือ มีกลิ่นไอน้ำมันขึ้นมาขณะเริ่มทำการปั้มใหม่ ๆ

   กรณีที่ไม่เคยมีใครทำเลยก็เป็นปัญหากับผมเช่นกัน เนื่องจากถ้ามีปัญหาอะไร ไม่รู้จะถามใคร แล้วในคู่มือก็ไม่มี Diagram ให้ดูด้วย แต่ก็สู้ไม่ถ่อย เนื่องจากไม่มีอะไรจะเสียแล้วครับ เครื่องมันก็เสียอยู่แล้ว ถ้านานไปเดี๋ยวลูกค้าจะรอนาน การปฏิบัติงานในส่วนที่ไม่เคยปฏิบัติ ควรจะทำเครื่องหมายไว้ หรือถ่ายรูปไว้ เป็นหลักฐาน หรือไม่ก็ให้ทำความเข้าใจการทำงานกับอุปกรณ์แต่ละชิ้น ว่าสัมพันธ์กันอย่างไร มีหน้าที่อะไร ถ้าทำตามนี้ได้ก็ไม่ต้องกลัวครับ

          เริ่มจากการถอดชิ้นส่วนวาล์ว  ที่สลับระหว่างปั้ม หรือเรียกว่า วาล์ว V4 และวาล์ว ในส่วนที่ปิด เปิด ส่วน Column นั้นเอง ผมจะประมวลภาพของความสกปรกที่เกิดขึ้นของชุดวาล์วให้ชมกันนะครับ

หลังจากแยกส่วนประกอบของวาล์วออกแล้ว ก็ทำการ Clean โดยแยกเป็น 2 ส่วนคือ

1. ส่วนที่เป็นยางโอริง ให้ใช้ผ้าไร้ขนเช็คคราบสกปรกออก รอบ ๆ โอริงออกให้หมด
2. ส่วนที่เป็นโลหะให้ใช้ผ้าไร้ขนชุบ “Acetone” เช็คทำความสะอาด และส่วนไหนที่ทำความสะอาดไม่ถึง ให้ใช้ไม้จิ้มฟันพันผ้าไร้ขนชุบ Acetone ทำความสะอาด

!!!ข้อควรระวัง อย่าให้ Acetone โดนยางโอริง เพราะจะทำให้ยางโอริงเสียหายได้ และควรจะทำงานในที่ ๆ มีอากาศถ่ายเทสะดวก หรือให้ปลอดภัยที่สุดต่อร่างกายผู้ปฏิบัติงานควรทำในตู้ดูดควัน ดีกว่า

         เมื่อทำความสะอาดเรียบร้อยแล้ว ก็ให้นำ Grease มาทาบาง ๆ ที่โอริง แล้วใส่โอริงกลับเข้าที่เดิมอย่างระมัดระวัง ไม่ให้โอริงขาดหรือเสียหาย ผมจะประมวลภาพหลังจากการทำความสะอาดชุดวาล์วเสร็จเรียบร้อยรอการประกอบ

          เมื่อประกอบวาล์วเสร็จ ติดตั้งวาล์วกลับที่เดิม ก็ใช้เวลาไปทั้งวัน เพราะเนื่องจากในอาทิตย์เดียวกันมีเครื่องเสีย อีก 2 เครื่อง อย่าง  XRD และ XRF กำลังรอความหวังอยู่เช่นกัน ด้วยความที่อยากรู้ว่าหลังจากที่ทำความสะอาดไปแล้วจะสามารถแก้ไขปัญหาเรื่องของ Over Current ได้หรือไม่? จึงทำการเปิดเครื่องแล้ว Pumping ทิ้งไว้ทั้งคืน ซึ่งช่วงแรกของการปั้ม รู้สึกได้ว่าปั้มได้ดีขึ้น เร็วขึ้น ก่อนกลับบ้านในวัดนั้น ตรวจวัดแรงดันของระบบ Vacuum ได้ 2.545 Vdc จริง ๆ แล้วถ้าดูด้วยตัวเลข ก็ไม่ต่างกันมากนัก

  รุ่งเช้าวันต่อไป ด้วยความอยากรู้ เวลาประมาณ 06.50 น. ก็มาทดสอบ ตรวจวัดแรงดัน ระบบ Vacuum อีกครั้ง ปรากฏว่า อยู่ประมาณ 2.550 Vdc ก็ดีกว่าเดิม นิดหน่อย แล้วผมก็ไปรับประทานอาหารเช้า

            หลังจากกลับมาจากทานข้าวเช้า ก็ลอง ON HT (เปิดหลอด) ทำตามขั้นตอน ซึ่งก็ทำการ Alignment Electron Gun จากนั้นลองถ่ายภาพดู ปรากฏว่าสังเกตที่สถานะบนจอ LCD ปรากฏว่ากระแส L.C ก็ดีขึ้น สามารถเปิดใช้งานที่ 25kV ได้ แต่ให้ตายซิ !!! มันเกิด Over Current อีกแล้ว จริง ๆ เลย เป็นอะไรอีกเนี่ย? แต่ก็ยังดีที่สามารถเปิดใช้งานที่ 25kV ได้ปกติแค่ 20kV ก็ Over Current แล้ว สงสัยต้องกลับไปนอนคิดใหม่ หาสาเหตุกันต่อไป ทุกอย่างยอมมีทางแก้ สาธุ....

  ...HS9OCB...