นโยบายการจัดการความรู้ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์ 1.ให้ใช้เครื่องมือการจัดการความรู้ผลักดัน คุณภาพคน และกระบวนทำงาน 2.ส่งเสริมการแลกเปลี่ยนประสบการณ์การทำงาน จากหน้างาน 3.ส่งเสริมให้มีเวทีเรียนรู้ร่วมกัน
Page Visits: 2332
comment: 0

SEM5200 ทำความสะอาด Diffusion Pump

เมื่อไม่นานมานี้ เครื่อง Scanning Electron Microscope ยี่ห้อ JEOL รุ่น JSM-5200 หรือเรียกสั้นๆว่า SEM5200 ได้เสียใหญ่ หลังจากที่ผ่านการใช้งานมาอย่างยาวนาน เกิดอาการเสียหลายๆอย่างในคราวเดียวกัน อาการเสียอย่างหนึ่งก็คือ ระบบสุญญากาศทำงานผิดปกติ กล่าวคือ

โดยปกติแล้ว เมื่อกดปุ่ม VAC เครื่องจะทำการดูดอากาศออกจาก Chamber เพื่อทำให้เกิดสุญญากาศใน Chamber โดยแบ่งการทำงานออกเป็น 2 state ได้แก่ state ของ Rotary Pump เรียกว่า Pre-VAC และ state ของ Diffusion Pump เรียกว่า EVAC โดยจะดูว่า ระบบสุญญากาศพร้อมใช้งานแล้วหรือไม่ เครื่องจะแสดงตัวเลขของระบบสุญญากาศเป็น % ถ้าครบ 100% และขึ้นข้อความ HT Ready นั่นแปลว่า เครื่องพร้อมทำงานแล้ว

ที่ผิดปกติคือ ช่วงของการเปลี่ยน state จาก Pre-VAC เป็น EVAC นั้น ค่าตัวเลข % กลับลดลง หรือไม่ก็เพิ่มขึ้นเพียงเล็กน้อย แล้วหยุดอยู่แค่นั้น เมื่อเวลาผ่านไปสักครู่ เครื่องก็ VENT (การทำให้ Chamber ไม่เป็นสุญญากาศ)

ฝ่ายซ่อมฯ จึงไม่นิ่งดูดาย ทำการระดมสมองเกี่ยวกับอาการแปลกๆนี้ (ผมไม่เคยพบมาก่อน) จึงได้ข้อสรุปว่า น่าจะเกิดปัญหาจาก Diffusion Pump จำเป็นจะต้องถอดออกมาทำความสะอาด และเปลี่ยนน้ำมัน

วิธีการถอด Diffusion Pump (ขอละเอาไว้ก่อนครับ ไว้อธิบายในโอกาสต่อๆไป)

วิธีการทำความสะอาด Diffusion Pump

1) ทำการถอดชิ้นส่วนต่างๆที่อยู่ภายใน diffusion pump ออกมาอย่างเบามือ เนื่องจากหากมีรอยขูดขีด หรือชิ้นส่วนผิดรูป จะทำให้ diffusion pump ทำงานผิดปกติได้

รูปแสดงชิ้นส่วนต่างๆของ diffusion pump ก่อนทำความสะอาด

2) เทน้ำมัน diffusion pump เก่าที่สกปรกออกมาใส่ภาชนะ เพื่อกำจัดอย่างถูกวิธีต่อไป จากนั้นคว่ำตัวถัง diffusion pump เอาไว้บนกระดาษซับน้ำมัน เพื่อให้น้ำมันที่ยังติดอยู่ในผนังด้านในย้อยออกมาให้ได้มากที่สุด (อาจทิ้งเอาไว้สัก 1 คืน) ทำความสะอาดภายในถังโดยใช้กระดาษ kimwipes ชุบ acetone เช็ดสิ่งสกปรกออกมา

3) หยิบชิ้นส่วนแต่ละชิ้น รวมถึงน็อตตัวเล็กๆด้วย (ยกเว้นตัวถัง) มาทำความสะอาด โดยการขัดด้วยน้ำยาขัดชนิดพิเศษ โดยใช้อุปกรณ์ทุ่นแรงดังรูป (สำลีพันสว่าน) หรือสำลีชุบน้ำยานี้ ขัดให้ชิ้นส่วนแววที่สุดในชีวิต ^__^ (ขออภัยที่ลืมถ่ายภาพตอนที่ขัดเสร็จแล้วครับ)

ขัดแล้ว ให้นำกระดาษ kimwipes ชุบ acetone เช็ดคราบน้ำยาออกให้ได้มากที่สุด แล้วจึงนำไปทำความสะอาดด้วยเครื่อง ultrasonic เป็นเวลาอย่างน้อย 1 ชั่วโมง (แช่ใน acetone ใช้เยอะมากถึง 4 ลิตร เพราะชิ้นส่วนชิ้นใหญ่ๆทั้งนั้นเลย - acetone ที่ใช้นี้สามารถนำไปใช้ในงานอื่นๆเช่น ทำความสะอาดสตับ ได้อีก อย่าทิ้ง เสียดาย) เสร็จแล้ว เอาออกมาใส่ถาด รอให้ acetone ระเหยออกไปก่อน (ใส่ใน hood) แล้วจึงรอรวมร่าง

4) เติมน้ำมัน Diffusion Pump ขวดใหม่ลงไป (สีเข้ม - น้ำมันเก่า(สกปรกมาก)  สีอ่อนๆใสๆ - น้ำมันใหม่) โดยจะต้องเติมไม่ให้เลอะโดนผนังด้านข้างของตัวถัง (จะเห็นว่าใช้กรวยช่วยด้วย)

5) ประกอบชิ้นส่วนต่างๆ (ที่ขัดและ ultrasonic เสร็จมาตะกี๊) แล้วก็รวมร่างเข้ากับตัวถัง แล้วจึงนำไปประกอบกลับเข้าเครื่อง SEM5200
คำแนะนำ: ก่อนขันน็อต ให้ชุบเกลียวน็อตด้วยน้ำมัน diffusion pump ใหม่ซะก่อน จะทำให้ขันลื่นขึ้น

ขั้นตอนเหมือนจะน้อย แต่ใช้เวลามากเลยทีเดียว โดยเฉพาะตอนขัดชิ้นส่วน เนื่องจาก ชิ้นส่วนมีหลายชิ้น และคราบสกปรกติดแน่นมาก หากไม่มีสว่านพันสำลีมาช่วย คงเข็ดมือไปอีกหลายวัน

ได้ทราบจากท่านหัวหน้าทดแทนว่า เคยเปลี่ยนน้ำมันมาแล้วครั้งหนึ่ง ตั้งแต่ก่อนผมเข้าทำงาน (ประมาณ 8 ปีก่อน) ดังนั้นครั้งนี้ก็สมควรแก่เวลาแล้ว ที่ได้ทำความสะอาด และเปลี่ยนน้ำมันใหม่

ตรวจสอบหลังซ่อม

จากนั้นเปิดเครื่อง แล้วทดสอบการทำงานโดยการ VAC ระบบ พบว่า สามารถ VAC ได้ตามปกติ

ขอบคุณผู้ร่วมทำงานครั้งนี้ด้วยครับ
หัวหน้าทดแทน  น้อง serviceman และน้อง HS9OCB

เคลียร์ไปได้ 1 อาการ
เคลียร์ไปได้ 1 บันทึก ฮี่ๆๆ

created: 31 March 2012 13:37 Modified: 31 March 2012 13:42 [ Report Abuse ]
Flowers
People who like this: Ico24 ServiceMan, Ico24 ทดแทน, and Ico24 หัวกรวด.
People Who Like This
 
Facebook
Twitter
Google

Other Posts By This Blogger

comment

No Comment
Comments are closed for this item.